warta

Téhnologi motong kawat inten ogé katelah téknologi motong abrasif konsolidasi. Ieu mangrupikeun panggunaan metode electroplating atanapi beungkeutan résin tina abrasif inten anu dikonsolidasi dina permukaan kawat baja, kawat inten langsung meta dina permukaan batang silikon atanapi ingot silikon pikeun ngahasilkeun grinding, pikeun ngahontal pangaruh motong. Motong kawat inten ngagaduhan ciri kecepatan motong anu gancang, akurasi motong anu luhur sareng karugian bahan anu handap.

Ayeuna, pasar kristal tunggal pikeun motong kawat inten wafer silikon parantos ditampi sapinuhna, tapi ogé aya anu mendakan dina prosés promosi, diantarana bodas beludru mangrupikeun masalah anu paling umum. Ku kituna, tulisan ieu museur kana kumaha carana nyegah motong kawat inten wafer silikon monokristalin bodas beludru.

Prosés beberesih wafer silikon monokristalin motong kawat inten nyaéta miceun wafer silikon anu dipotong ku mesin gergaji kawat tina pelat résin, miceun strip karét, sareng ngabersihkeun wafer silikon. Alat beberesih utamina nyaéta mesin pra-bebersih (mesin degumming) sareng mesin beberesih. Prosés beberesih utama mesin pra-bebersih nyaéta: nyeuseup-semprot-semprot-bebersih ultrasonik-degumming-bilas cai bersih-kurang nyeuseup. Prosés beberesih utama mesin beberesih nyaéta: nyeuseup-bilas cai murni-bilas cai murni-cuci alkali-cuci alkali-bilas cai murni-bilas cai murni-bilas cai murni-pra-dehidrasi (ngangkat lalaunan) -ngagaringkeun-nyeuseup.

Prinsip nyieun beludru kristal tunggal

Wafer silikon monokristalin mangrupikeun ciri korosi anisotropik wafer silikon monokristalin. Prinsip réaksina nyaéta persamaan réaksi kimia ieu:

Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑

Intina mah, prosés formasi suede téh nyaéta: Larutan NaOH pikeun laju korosi anu béda tina permukaan kristal anu béda, (100) laju korosi permukaan tibatan (111), jadi (100) kana wafer silikon monokristalin saatos korosi anisotropik, antukna kabentuk dina permukaan pikeun (111) kerucut opat sisi, nyaéta struktur "piramida" (sakumaha anu dipidangkeun dina gambar 1). Saatos struktur kabentuk, nalika cahaya nyanghareup ka lamping piramida dina Sudut anu tangtu, cahaya bakal dipantulkeun ka lamping dina Sudut anu sanés, ngabentuk panyerepan sekundér atanapi langkung seueur, sahingga ngirangan réfléksitivitas dina permukaan wafer silikon, nyaéta, pangaruh bubu cahaya (tingali Gambar 2). Beuki saé ukuran sareng seragamna struktur "piramida", beuki atra pangaruh bubu, sareng beuki handap émirat permukaan wafer silikon.

Gambar 1: Mikromorfologi wafer silikon monokristalin saatos produksi alkali

Gambar 2: Prinsip bubu cahaya tina struktur "piramida"

Analisis pemutihan kristal tunggal

Ku cara ngagunakeun mikroskop éléktron scanning dina wafer silikon bodas, kapanggih yén mikrostruktur piramida wafer bodas di daérah éta sacara dasarna teu kabentuk, sareng permukaanana sigana ngagaduhan lapisan sésa "lilin", sedengkeun struktur piramida suede di daérah bodas wafer silikon anu sami kabentuk langkung saé (tingali Gambar 3). Upami aya sésa dina permukaan wafer silikon monokristalin, permukaan éta bakal ngagaduhan ukuran struktur "piramida" sésa sareng generasi seragam sareng pangaruh daérah normal henteu cekap, anu ngahasilkeun réfléksibilitas permukaan beludru sésa langkung luhur tibatan daérah normal, daérah anu réfléksitivitasna luhur dibandingkeun sareng daérah normal dina visual dipantulkeun salaku bodas. Sakumaha anu tiasa ditingali tina bentuk distribusi daérah bodas, éta henteu bentukna teratur atanapi teratur di daérah anu lega, tapi ngan ukur di daérah lokal. Kedahna polutan lokal dina permukaan wafer silikon henteu acan dibersihkeun, atanapi kaayaan permukaan wafer silikon disababkeun ku polusi sekundér.

Gambar 3: Babandingan bédana mikrostruktur régional dina wafer silikon bodas beludru

Beungeut wafer silikon motong kawat inten langkung lemes sareng karusakanana langkung alit (sakumaha anu dipidangkeun dina Gambar 4). Dibandingkeun sareng wafer silikon mortir, kecepatan réaksi permukaan wafer silikon motong kawat inten alkali sareng langkung laun tibatan wafer silikon monokristalin motong mortir, janten pangaruh sésa permukaan kana pangaruh beludru langkung atra.

Gambar 4: (A) Mikrograf permukaan wafer silikon potongan mortir (B) mikrograf permukaan wafer silikon potongan kawat inten

Sumber sésa utama tina permukaan wafer silikon anu dipotong kawat inten

(1) Pendingin: komponén utama pendingin motong kawat inten nyaéta surfaktan, dispersant, defamagent sareng cai sareng komponén sanésna. Cairan motong kalayan kinerja anu saé ngagaduhan suspénsi, dispersi sareng kamampuan beberesih anu saé. Surfaktan biasana ngagaduhan sipat hidrofilik anu langkung saé, anu gampang dibersihkeun dina prosés beberesih wafer silikon. Ngaduk sareng sirkulasi aditif ieu sacara terus-terusan dina cai bakal ngahasilkeun seueur busa, anu nyababkeun panurunan aliran pendingin, mangaruhan kinerja pendinginan, sareng masalah busa anu serius sareng bahkan busa anu ngaleuleuskeun, anu bakal mangaruhan sacara serius panggunaan. Ku alatan éta, pendingin biasana dianggo sareng agén defoaming. Pikeun mastikeun kinerja defoaming, silikon sareng poliéter tradisional biasana hidrofilik goréng. Pangleyur dina cai gampang pisan nyerep sareng tetep dina permukaan wafer silikon dina beberesih salajengna, anu nyababkeun masalah bintik bodas. Sareng henteu cocog sareng komponén utama cairan pendingin, Ku kituna, éta kedah didamel janten dua komponén, Komponén utama sareng agén pangurang busa ditambahkeun kana cai, Dina prosés panggunaan, numutkeun kaayaan busa, Henteu tiasa ngontrol sacara kuantitatif panggunaan sareng dosis agén anti busa, Gampang nyababkeun overdosis agén anoaming, Anu nyababkeun paningkatan sésa permukaan wafer silikon, Éta ogé langkung teu merenah pikeun dioperasikeun, Nanging, kusabab harga bahan baku sareng bahan baku agén pangurang busa anu murah, Ku kituna, kaseueuran cairan pendingin domestik sadayana nganggo sistem rumus ieu; Cairan pendingin anu sanés nganggo agén pangurang busa énggal, Tiasa cocog sareng komponén utama, Henteu aya tambahan, Tiasa sacara efektif sareng kuantitatif ngontrol jumlahna, Tiasa sacara efektif nyegah panggunaan anu kaleuleuwihi, Latihan ieu ogé merenah pisan pikeun dilakukeun, Kalayan prosés beberesih anu leres, Sésa-sésa na tiasa dikontrol kana tingkat anu handap pisan, Di Jepang sareng sababaraha produsén domestik ngadopsi sistem rumus ieu, Nanging, kusabab biaya bahan baku anu luhur, Kauntungan harga na henteu atra.

(2) Vérsi lem sareng résin: dina tahap salajengna tina prosés motong kawat inten, wafer silikon caket tungtung anu lebet parantos dipotong sateuacanna, wafer silikon di tungtung outlet tacan dipotong, kawat inten anu dipotong awal parantos mimiti motong kana lapisan karét sareng pelat résin, kumargi lem batang silikon sareng papan résin duanana mangrupikeun produk résin époksi, titik lemesna dasarna antara 55 sareng 95 ℃, upami titik lemes lapisan karét atanapi pelat résin rendah, éta tiasa gampang panas nalika prosés motong sareng nyababkeun éta janten lemes sareng lebur, napel kana kawat baja sareng permukaan wafer silikon, nyababkeun kamampuan motong garis inten turun, atanapi wafer silikon ditampi sareng diwarnaan ku résin, sakali napel, hésé pisan dikumbah, kontaminasi sapertos kitu biasana lumangsung caket ujung wafer silikon.

(3) bubuk silikon: dina prosés motong kawat inten bakal ngahasilkeun seueur bubuk silikon, sareng motongna, eusi bubuk pendingin mortir bakal beuki luhur, nalika bubukna cukup ageung, bakal nempel kana permukaan silikon, sareng motong kawat inten ukuran sareng ukuran bubuk silikon langkung gampang diadsorpsi dina permukaan silikon, ngajantenkeun hésé dibersihkeun. Ku alatan éta, pastikeun apdet sareng kualitas pendingin sareng ngirangan eusi bubuk dina pendingin.

(4) agén beberesih: panggunaan ayeuna pabrik motong kawat inten biasana nganggo motong mortir dina waktos anu sami, biasana nganggo motong mortir sateuacan ngumbah, prosés beberesih sareng agén beberesih, jsb., téknologi motong kawat inten tunggal tina mékanisme motong, ngabentuk sakumpulan garis lengkep, coolant sareng motong mortir gaduh bédana anu ageung, janten prosés beberesih anu saluyu, dosis agén beberesih, rumus, jsb kedah pikeun motong kawat inten ngadamel panyesuaian anu saluyu. Agén beberesih mangrupikeun aspék anu penting, rumus agén beberesih asli surfaktan, alkalinitas henteu cocog pikeun beberesih motong kawat inten wafer silikon, kedah pikeun permukaan wafer silikon kawat inten, komposisi sareng sésa permukaan agén beberesih anu dituju, sareng nyandak sareng prosés beberesih. Sakumaha anu kasebat di luhur, komposisi agén defoaming henteu diperyogikeun dina motong mortir.

(5) Cai: motong kawat inten, ngumbah sateuacanna sareng ngabersihkeun cai anu ngaleuleuskeun ngandung kokotor, éta tiasa nyerep kana permukaan wafer silikon.

Ngurangan masalah ngajantenkeun rambut beludru bodas katingalina sapertos saran

(1) Pikeun ngagunakeun cairan pendingin kalayan dispersi anu saé, cairan pendingin kedah nganggo agén pangurang busa anu résidu rendah pikeun ngirangan sésa komponén cairan pendingin dina permukaan wafer silikon;

(2) Anggo lem sareng pelat résin anu cocog pikeun ngirangan polusi wafer silikon;

(3) Cairan pendingin diéncérkeun ku cai murni pikeun mastikeun yén teu aya kokotor anu gampang nyésa dina cai anu dianggo;

(4) Pikeun beungeut wafer silikon anu dipotong kawat inten, anggo agén beberesih anu langkung cocog pikeun aktivitas sareng pangaruh beberesih;

(5) Anggo sistem pamulihan online cairan pendingin garis inten pikeun ngirangan eusi bubuk silikon dina prosés motong, supados tiasa ngontrol sésa bubuk silikon dina permukaan wafer silikon sacara efektif. Dina waktos anu sami, éta ogé tiasa ningkatkeun suhu cai, aliran sareng waktos dina pra-cuci, pikeun mastikeun yén bubuk silikon dikumbah dina waktosna.

(6) Sakali wafer silikon disimpen dina méja beberesih, éta kedah langsung dirawat, sareng ngajaga wafer silikon tetep baseuh salami prosés beberesih.

(7) Wafer silikon ngajaga beungeut tetep baseuh dina prosés degumming, sareng henteu tiasa garing sacara alami. (8) Dina prosés beberesih wafer silikon, waktos anu kakeunaan hawa tiasa dikirangan sabisa-bisa pikeun nyegah produksi kembang dina beungeut wafer silikon.

(9) Staf beberesih teu kénging langsung nyabak permukaan wafer silikon salami prosés beberesih, sareng kedah nganggo sarung tangan karét, supados henteu ngahasilkeun sidik jari.

(10) Dina rujukan [2], tungtung batré nganggo prosés beberesih hidrogén péroksida H2O2 + alkali NaOH numutkeun babandingan volume 1:26 (larutan 3% NaOH), anu sacara efektif tiasa ngirangan kajadian masalah. Prinsipna sami sareng larutan beberesih SC1 (anu umumna katelah cairan 1) tina wafer silikon semikonduktor. Mékanisme utama na: pilem oksidasi dina permukaan wafer silikon dibentuk ku oksidasi H2O2, anu dikorosi ku NaOH, sareng oksidasi sareng korosi lumangsung sacara berulang. Ku alatan éta, partikel anu napel kana bubuk silikon, résin, logam, jsb.) ogé murag kana cairan beberesih sareng lapisan korosi; kusabab oksidasi H2O2, bahan organik dina permukaan wafer diuraikeun kana CO2, H2O sareng dipiceun. Prosés beberesih ieu parantos dianggo ku produsén wafer silikon pikeun ngolah beberesih kawat inten anu motong wafer silikon monokristalin, wafer silikon di domestik sareng Taiwan sareng produsén batré sanésna anu nganggo keluhan masalah bodas beludru. Aya ogé produsén batré anu parantos nganggo prosés pra-beberesih beludru anu sami, ogé sacara efektif ngontrol penampilan bodas beludru. Bisa katitén yén prosés beberesih ieu ditambahkeun kana prosés beberesih wafer silikon pikeun miceun sésa wafer silikon supados sacara efektif ngarengsekeun masalah buuk bodas dina tungtung batréna.

kacindekan

Ayeuna, motong kawat inten parantos janten téknologi pamrosésan utama dina widang motong kristal tunggal, tapi dina prosés ngamajukeun masalah ngadamel beludru bodas parantos ngaganggu pabrik wafer silikon sareng batré, anu ngarah ka pabrik batré pikeun motong kawat inten wafer silikon ngagaduhan sababaraha résistansi. Ngaliwatan analisis babandingan daérah bodas, éta utamina disababkeun ku sésa-sésa dina permukaan wafer silikon. Pikeun nyegah masalah wafer silikon dina sél, tulisan ieu nganalisis kamungkinan sumber polusi permukaan wafer silikon, ogé saran sareng ukuran perbaikan dina produksi. Numutkeun jumlah, daérah sareng bentuk bintik bodas, panyababna tiasa dianalisis sareng ditingkatkeun. Disarankeun pisan pikeun nganggo prosés beberesih hidrogén péroksida + alkali. Pangalaman anu suksés parantos ngabuktikeun yén éta tiasa sacara efektif nyegah masalah motong kawat inten wafer silikon ngadamel pemutihan beludru, pikeun rujukan ti jalma-jalma di industri umum sareng pabrik.